![](https://n1s1.hsmedia.ru/fc/83/93/fc8393b137e14fa6b04ed4d51af8e49f/656x492_1:5553_50245dc0a25247835ed411ba555ad9c8@3000x2250_0xPbjJq0hM_9725609442857139433.jpg.webp)
Одно из самых высокотехнологичных производств России находится на заводе «Микрон» в Зеленограде. Здесь ежегодно выпускается около 1,5 миллиарда чипов, сфера применения которых — от промышленных систем и оборудования и ID-документов, банковских карт, проездных билетов, различных пропусков, в том числе паспорта болельщика, до автомобильной и бытовой техники, а также завод производит широкий спектр RFID-меток различного назначения.
Производство «Микрона» работает по топологическим нормам 180–90 нм, на которых выпускается более половины всей продукции микроэлектроники в мире, чипы выпускаются на пластинах диаметром 200 мм — на одной такой пластине помещается дневная норма билетов московского метро.
Если совсем просто, то технологический процесс производства в микроэлектронике — это эквивалент плотности размещения элемента на кристалле, от него зависит, сколько компонентов можно разместить на единице площади.
Гостям показывают работу завода изнутри, и некоторые участки производства чипов можно увидеть на расстоянии вытянутой руки. Для этого в технологических помещениях оборудован специальный стеклянный обзорный коридор — гости видят рабочий процесс, находятся в атмосфере чистых комнат в потоке фильтруемого непрерывно воздуха и при этом не мешают производству.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/5e/50/ed/5e50edd31957dc9476a4d63401e1bcaa/656x492_1:5553_b1efc016525c44ff3d317af58ddbaf43@3000x2250_0xyxHYCS5N_3919412077917278321.jpg.webp)
Так, перед входом в производственные помещения все обязательно надевают антистатические халаты и бахилы. Для прохода в «чистые комнаты» — именно в них выращивают сами кристаллы — и вовсе отдельные правила. Сотрудники надевают специальные антистатические костюмы, двойные перчатки — сначала тканевые, а сверху резиновые. А еще медицинские маски.
На микроэлектронных высокоточных производствах поддерживается определенный микроклимат и требуется идеальная чистота. Здесь на порядок более строгие требования, чем в самых идеальных операционных. Ведь малейшее отклонение микроклимата может привести к отклонениям в техпроцессе, а одна пылинка — загубить работу нескольких месяцев.
Вообще, как объясняют сотрудники, для функционирования 1 квадратного метра «чистого помещения» требуется 10 квадратных метров технического этажа, где установлено оборудование, обеспечивающего работу производства, и система трубопроводов, которые в непрерывном режиме круглосуточно доставляют к каждой единице оборудования свой необходимый набор химических материалов, различных реагентов и газовых смесей.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/95/08/9c/95089c3a62549f4f5fc839330db96bb4/984x738_1:5553_09ece1549731ea59e0355be4507c5037@3000x2250_0xZ4ip6F9O_7636903019264312272.jpg.webp)
На «Микроне» действует строгий «дресс-код». Так, перед входом в производственные помещения все обязательно одевают антистатические халаты и бахилы. Для прохода в «чистые комнаты» — именно в них выращивают сами кристаллы — и вовсе особые требования. Сотрудники надевают медицинские маски, шапочки, специальные антистатические комбинезоны с капюшоном, обувь, двойные перчатки — сначала тканевые, а сверху резиновые. А еще смывают всю косметику.
В помещениях кристального производства действует 6-й класс чистоты. В них создается избыточное давление, и за счет этого фильтры очищают воздух, пыль прибивается вниз, к углам и щелям в дверях, и ничего не залетает снаружи. Кстати, пол в «чистой комнате» — гладкий и антистатический, то есть пыль на него не прилипает.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/c5/98/53/c59853b93630790539365bf424ec5632/656x492_1:5553_7b81176b7beaffc7cd72a21bc4420d0f@3000x2250_0xnREV7shR_4372503962258165474.jpg.webp)
Также для обеспечения чистоты сделан так называемый «фальшпол»: люди ходят по чуть приподнятому полу с перфорацией. Это сделано для того, чтобы пыль прибивалась вертикальным потоком очищенного воздуха (специальный воздушный коридор) сверху и через отверстия фальшпола опускалась ниже уровня рабочей зоны.
Воздух в помещении «чистой комнаты» полностью меняется за полминуты. Поддерживаемая рабочая температура 21–21,5 градуса — наиболее благоприятная температура для обрабатываемых пластин. К тому же в «чистых комнатах» сотрудники работают не больше 2–3 часов.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/53/c5/56/53c5565be6f6392f30f2ab18f56e699f/656x493_1:5553_cdc88daa8d4a2feb9eeb5d0f73c073e5@2234x1676_0xodtWVeeb_0135957605562736297.jpg.webp)
Но и это не всё: в прямой контакт с пластинами сотрудники не вступают. Сами кремниевые пластины на протяжении всего этапа выращивания кристаллов находятся в специальных герметичных контейнерах — SMIF (Standard Mechanical InterFace — стандартный механический интерфейс) для защиты от пыли и механических повреждений. В нём поддерживается 1-й класс чистоты. Располагаются пластины в нём горизонтально, а загружаются и выгружаются для проведения всех необходимых операций автоматически, число которых измеряется тысячами, специальными установками через специальный шлюз.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/0d/19/0c/0d190c95994d7f1cae45d8bd5f407cdb/656x492_1:5553_261c006af9d832f2f66edf75f256db6b@3000x2250_0x4wkEQ0gn_4013408320456649211.jpg.webp)
Пылинка — страшный враг микрочипов, столкнуться с ней для пластины с чипами это как катастрофа встречи с метеоритом. Кстати, стоимость одной такой пластины с выращенными на ней чипами для проездных карт (их там порядка 80–100 тысяч) — около 1,5–2 миллионов рублей. Именно поэтому здесь такие строгие правила.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/a7/a5/63/a7a563330aaa2fa621a5ebe6f0a30b9c/656x492_1:5553_f80a186e1c2a5233b86a0c4f0163f593@3000x2250_0xousuWclF_9703672924114070104.jpg.webp)
У каждого контейнера свой технологический маршрут в зависимости от типа продукции. Оператору необходимо лишь следить за корректностью выполнения процедур и работой приборов. При этом часть процессов автоматизирована с помощью радиочастотных меток, производимых самим «Микроном». То есть на контейнеры нанесены специальные метки с прописанными операциями, установка считывает информацию и понимает, какую процедуру необходимо выполнить. Это позволяет свести на нет вероятность ошибок на маршруте, когда контейнер загружается не в ту установку, где его следующая операция.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/31/10/90/3110900ea8e2cfc756a6d1aa66b2ff0a/656x492_1:5553_d6573bfca454a35dd453451551063b1b@3000x2250_0xi3TXTsPC_5313587505894246967.jpg.webp)
Центральным перекрестком «чистой комнаты» является фотолитография. Ее класс чистоты на порядок выше (5-й класс чистоты), и расположена в отдельном помещении внутри «чистой комнаты». Еще одна причина — использование светочувствительного фоторезиста требует специального желтого освещения, чтобы не засветить материалы.
В процессе фотолитографии на кремниевых пластинах, покрытых фоторезистом, появляется будущая структура чипов — важный и ответственный этап проектирования микросхем. На специальных литографических установках (степперах) засвечивают фоторезист через маску (фотошаблон) и формируют рисунок одного слоя. Количество слоев зависит от технологии, а дальнейший маршрут пластины — от назначения конечного изделия. На выходе из «чистой комнаты» мы получаем кремниевую пластину с микросхемами, работа которой составила 2–3 месяца и тысячи операций.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/71/fc/39/71fc39745cc72daf0fa991e6ed68c718/656x492_1:5553_5a65114f5cfe6012c7ecbb7c3c32459d@3000x2250_0xzo30wNLi_7225732361246389990.jpg.webp)
![](https://n1s1.hsmedia.ru/75/09/18/7509183cd18c630a15e753450d1f496e/656x492_1:5553_b771d247d0630e5920aff78c24ed44da@3000x2250_0xgYV8f28f_7493088409161703173.jpg.webp)
Затем готовые пластины с чипами отправляются на другие предприятия, где станут основой самых разных умных устройств. А пластины с чипами, предназначенными для чип-модулей банковских карт и транспортных билетов, остаются на «Микроне» и попадают в цех сборки и корпусирования.
Сначала с них счищается нижний слой кремния (процесс утончения — до 120 микрон), а затем режутся алмазными ножами на тысячи отдельных чипов. После этого пластины готовы к тому, чтобы установки брали каждый из них и устанавливали на специально подготовленную подложку.
В случае с проездными картами — это тонкая пластиковая лента с антенной, так называемый инлей, при соединении с которым чип превращается в радиочастотную метку, которая позднее вживляется в бумажный билет.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/95/fb/dc/95fbdc10070f10b8f4df15622f8dd431/656x492_1:5553_a31f3169f4afb606413aeb93975f2799@3000x2250_0xZvKtTl0L_9394913064497872662.jpg.webp)
![](https://n1s1.hsmedia.ru/62/7e/2b/627e2b0208963d695401e4cbecc256c9/656x492_1:5553_6c13bb311f74daa0548b0850ee9aff1e@3000x2250_0xvsKwQJkA_7452460660760240824.jpg.webp)
Когда чип уже помещен в инлей, с ним становится сложнее что-то сделать. Если такую «сборку» смять, она продолжит работать.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/56/e3/0e/56e30e20b04435c9393d5780d04107e4/656x492_1:5553_87282ee4fb623374f5027e61f8111e2b@3000x2250_0xPAJ3DOnd_4117877545792988614.jpg.webp)
![](https://n1s1.hsmedia.ru/6b/35/a4/6b35a4201a1d6ff923355098b6a9d9b8/656x492_1:5553_bb51d22270a4c7cdccb1c84550877c7c@3000x2250_0xRjGv06UV_8391202646603685521.jpg.webp)
![](https://n1s1.hsmedia.ru/0f/c2/29/0fc229ddc9a2703d7bc069c4151d993e/656x492_1:5553_ac2e54b32edee3b51bc94fa54340f91d@3000x2250_0x5EhMmq7i_2096147756025118005.jpg.webp)
На последнем этапе в чип записывается код — идентификационный номер, после чего специальный сотрудник упаковывает готовую продукцию для передачи заказчику. Но перед этим изделия проходят несколько этапов функционального контроля.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/a1/a7/4b/a1a74b4bd7ba8d78dc54913a2a7a1ce9/656x492_1:5553_376bdff23b7c9cd52e297496467583f1@3000x2250_0xPzH1SGLH_9974981985486140691.jpg.webp)
![](https://n1s1.hsmedia.ru/eb/1c/51/eb1c513cdf9d4bbfc230824addeede4e/656x492_1:5553_5cdc7ed78acae889222d9710c53bb7d2@3000x2250_0xWiyar0pP_8443994825548232476.jpg.webp)
Производство «Микрона» полностью автоматизировано, в том числе контроль качества продукции на каждом технологическом этапе. Кроме того, сотрудники завода дополнительно вручную осуществляют контроль согласно процедурам системы менеджмента качества.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/92/37/77/923777400ca75a72bc297f07db6237b3/656x492_1:5553_5d1d79c4b4170d919d7a91c36d4cbc97@3000x2250_0xikSojgdm_4745726819321109251.jpg.webp)
![](https://n1s1.hsmedia.ru/76/4b/56/764b564193a82dae28411962035faf6c/656x492_1:5553_7ebd616a6086154c41b52f019b38ec97@3000x2250_0xgEDFohGq_4892531409084731599.jpg.webp)
Аналогичные процессы происходят и с другими продуктами завода: RFID-метки, используемые для различных сценариев применения, например инвентаризации, защиты изделий и контроля, чипы для документов и банковских карт «Мир» и многое другое.
![](https://n1s1.hsmedia.ru/26/fe/f3/26fef3ea66ece283e6b27d0f12e1e62e/656x492_1:5553_453d16030e510e9b877ef7f466b2ab64@3000x2250_0x9IV6o6xu_5417954407589478243.jpg.webp)
![](https://n1s1.hsmedia.ru/b5/8e/bd/b58ebdda2ed25c50a500a18ae22b392c/656x477_1:5553_fe32a48483f3772968cd803e857757cf@2999x2178_0xdQvVdCZm_7442135527764636296.jpg.webp)
![](https://n1s1.hsmedia.ru/29/19/d9/2919d912dad604b16c0bf52ace2132a5/656x492_1:5553_eb1136eaab239d4facf44321b9fc35f6@3000x2250_0x28DwqpD1_6971212889587133761.jpg.webp)
Напомним, ранее мы рассказывали, что происходит с отечественными дальнемагистральными самолетами и что у российского завода попытались забрать оборудование. Кроме этого, рядом с «Садоводом» возведут гигантский технопарк.
Самую оперативную информацию о жизни столицы можно узнать из телеграм-канала MSK1.RU и нашей группы во «ВКонтакте».